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inTEST 熱流儀搭配壓力機進行壓力傳感器 MENS 溫度測試

壓力傳感器 MENS 是由微加工技術制備, 特征結構在微米尺度 1um~0.1mm 范圍,集成有微傳感器, 微致動器, 微電子信號處理與控制電路等部件的微型系統. 80%以上的 MENS 采用硅微工藝進行制作, 并且需要在特定壓力之下快速進行不同溫度點的性能測試.美國 inTEST 熱流儀搭配壓力機作為一種常用溫度測試手段, 廣泛應用于 MENS 性能測試.

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    壓力傳感器 MENS 高低溫測試方法:

    1. 將器件放在壓力機里面

    2. 啟動 inTEST ATS-545 高低溫沖擊機加熱至需要測試的溫度點

    3. 調節壓力機, 設定壓力值

    4. 使用儀器測試微電感器件在該溫度下的參數

    5. 調節需要溫度點, 重復 2, 3, 4這三個操作, 記錄數據


    inTEST ATS-545 熱流儀技術參數


    溫度范圍 °C:-75 至 + 225(50 HZ)

    變溫速率:-55至 +125°C

                    約 10 S 或更少

                    +125至 -55°C

                    約 10 S 或更少


    輸出氣流量:4 至 18 scfm

    溫度精度:±1℃ 通過美國NIST 校準

    溫度顯示分辨率: ±0.1℃

    與傳統高低溫實驗箱, 溫濕度測試箱對比, inTEST ThermoStream 熱流儀主要優勢:

    1. 變溫速率更快

    2. 溫控精度:±1℃

    3. 實時監測待測元件真實溫度, 可隨時調整沖擊氣流溫度

    4. 針對 PCB 電路板上眾多元器件中的某一單個 IC (模塊), 可單獨進行高低溫沖擊, 而不影響周邊其它器件

    5. 對測試機平臺 load board上的 IC 進行溫度循環 / 沖擊; 傳統高低溫箱無法針對此類測試.

    6. 對整塊集成電路板提供準確且快速的環境溫度.

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