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无尘高温箱,无尘烘箱,洁净烘箱,无尘烤箱,百级无尘烘箱,无尘干燥箱,百级无尘烤箱,100级洁净烤箱

Class 100 Clean Ovens






Lab Companion 无尘高温箱系列最高工作温度300°C。
客户的标准样品进入处理流程，均在符合 ISO14644-1 class5* 标准的环境中运行。所有污染微粒的来源完全密封。不锈钢内壁易清洗，光泽的白色环氧树脂涂层外墙能防止微粒脱落的污染。
*Federal 209E Class100 标准在2001年已由ISO14644-1 class 5标准取代。




一．用途:
Lab Companion 无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。





二．特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到*佳温度控制精度。



三．产品技术参数：



1.主要技术指标：
 无尘等级：Class 100;                  

 温度范围： RT+20～ +200℃/+300℃；

温度均匀度：200℃±4℃;             

温度波动度：±0.5℃（空载）        

温控精度：±0.1℃;                        

工作尺寸：216L ,324L,768L,无尘等级和尺寸可根据要求定制。
       

电源：380v , 50Hz，        

网板：2块（高度可调节)




产品名称	型号	温度范围	洁净度	内容积	内尺寸(W×H×Dmm)	外尺寸（WxHxDmm）
无尘高温箱	OVEN-216C	(RT＋20℃)～＋200℃	Class 100	216L	600×600×600	770×1200×925
无尘高温箱	OVEN-324C	(RT＋20℃)～＋200℃	Class 100	324L	600×900×600	770×1500×925
无尘高温箱	OVEN-768C	(RT＋20℃)～＋200℃	Class 100	768L	800×1200×800	1030×1800×1145
无尘高温箱	OVEN-216CH	(RT＋20℃)～＋300℃	Class 100	216L	600×600×600	770×1200×925
无尘高温箱	OVEN-324CH	(RT＋20℃)～＋300℃	Class 100	324L	600×900×600	770×1500×925
无尘高温箱	OVEN-768CH	(RT＋20℃)～＋300℃	Class 100	768L	800×1200×800	1030×1800×1145